商品ホームページから抜粋いたします。MODEL3200シリーズは、半導体、液晶、燃焼、分析、バイオ等幅広い分野で実績を誇る3910シリーズの後継機として設計された新型マスフローコントローラです。新しいコフロック・スタンダードにふさわしいハイパフォーマンスモデルです。特長・温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精度、高速応答を実現・安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用・ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減・F.S. 1SCCM の微少流量対応（SR オプション）流量レンジ：1SCCM～20SLM (N2 換算)対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等詳細仕様については、上記カタログをご覧ください・燃焼ガス制御用の低差圧対応（ＬＰオプション）取り外すまで動いていたようです。同じものが３台あります。